設(shè)備性能
可調(diào)傳動速度:0.5-3m/min
常規(guī)運(yùn)行速度:2.5m/min
產(chǎn)能: Up to 4000/6800/8000 Wafers/H@20mm
設(shè)備有效利用率:≥98%
反射率:≤16%
碎片率:≤0.03%
硅片規(guī)格
硅片厚度:≥140 μm
硅片尺寸:156.75*156.75mm-212*212mm
設(shè)備尺寸
長*寬*高:5060*2250*2120mm
長*寬*高:3710*2650*2120mm
長*寬*高:3810*3050*2200mm
工作寬度:965mm/1515mm/1911mm
傳輸高度:1000±25mm
模塊材料:PP,PVDF
傳動
傳動類型:5 lane/8 lane/10 lane
軸間距:50mm/60mm
主傳動軸:17mm,Hexagon
傳動滾輪:Φ32mm
方向
工作方向:Left→Right / Right→Left(TBD)
電力供應(yīng)
供電:AC380V 3PH+PE+N 50Hz(TBD)
控制電源:DC 24V
滿載電源:25A/48A
建議最大保險(xiǎn)絲規(guī)格:48A/63A
安裝要求
最小地面承重:750Kg/㎡
最低車間高度:3.5m
無塵室級別:ISO7(10K Class)
環(huán)境溫度:17℃<RT<30℃
最大濕度:70%